二、碳化硅導(dǎo)軌框架

我單位生產(chǎn)的碳化硅導(dǎo)軌及框架具有耐壓性、不泄露等特點(diǎn)，適用于光刻機(jī)及刻蝕機(jī)的等裝備的關(guān)鍵部位。

主要技術(shù)指標(biāo)：

表3：導(dǎo)軌框架性能指標(biāo)

圖16 多孔吸盤(pán)面型

四、碳化硅反射鏡

基于碳化硅陶瓷材料的優(yōu)異性能，結(jié)合本單位碳化硅結(jié)構(gòu)件的制備工藝，開(kāi)發(fā)出具有復(fù)雜輕量化結(jié)構(gòu)及面型精度的機(jī)載、車(chē)載碳化硅反射鏡，并將反射鏡制備技術(shù)用于無(wú)人車(chē)自動(dòng)駕駛激光雷達(dá)用碳化硅反射鏡片，為無(wú)人駕駛汽車(chē)自動(dòng)駕駛提供“眼睛”，實(shí)現(xiàn)了碳化硅反射鏡在民用領(lǐng)域的應(yīng)用。

五、其他碳化硅陶瓷部件

   除此之外，本單位還生產(chǎn)碳化硅陶瓷手臂，碳化硅陶瓷托盤(pán)等高精密部件，用于IC制造行業(yè)的硅片傳輸及刻蝕機(jī)用晶圓的承載，為IC制造業(yè)提供支撐。